Laboratorio de Epitaxia por Haces Moleculares

El IICO cuenta con un laboratorio de síntesis de películas semiconductoras, basado en los semiconductores III-V Galio, Indio, Aluminio, Nitrógeno y Arsénico. Este laboratorio cuenta con un reactor de síntesis de películas Riber 32, basado en el principio de evaporación de haces moleculares de semiconductores. El instrumento está dedicado al desarrollo de estructuras III-As y se encuentra en desarrollo la implementación de estructuras III-As-N. La síntesis de las películas se lleva a cabo en condiciones de Ultra Alto Vacio.

El reactor principal cuenta con sistemas de caracterización in-situ. Tales sistemas están controlados para poder trabajar en forma síncrona y tener un amplio detalle de los procesos fundamentales llevados a cabo, durante la fabricación de las piezas semiconductoras. Dentro de las sondas disponibles, se incluye la sonda electrónica de Reflexión de electrones Difractados de Alta Energía (RHEED), Espectrómetro de Reflectancia Anisotropica, Espectrometro de Masas y Pirometria.

Este reactor cuenta con una cámara secundaria de análisis, en la cual se pueden realizar estudios de Espectroscopia Auger, Espectroscopia XPS y adicionalmente cuenta con un microscopio electrónico sofisticado, que permite el estudio de la superficie a escala molecular, midiendo la interacción entre el microscopio y la muestra, bajo principios de Fuerza Atómica o bien por Efecto de Tunelamiento. Estas facilidades en el reactor, permiten caracterizar in situ, las propiedades químicas y físicas de las superficies de las películas fabricadas.



Microscopio STM(Scaning Tunneling Microscope)



Microscopio STM



Reactor de Epitaxia por Haces Moleculares



Reactor y Cámara de Análisis


Contacto:​ Dr. Alfonso Lastras Martínez

email: alastras@gmail.com